Apparecchi che consentono di esplorare minutamente un campione (mineralogico, metallografico, ecc.) e di determinare le microvariazioni di costituzione chimica mediante un sottile fascio di elettroni abbastanza veloci che eccita la sostanza del campione a emettere raggi X. Esaminando, con apposito spettrometro, lo spettro dei raggi X emessi, si ricava un grande numero di informazioni qualitative e quantitative (VLI)